Page 117 - bilgem-teknoloji-dergisi-5
P. 117

Bahattin TÜRETKEN, Koray SÜRMELİ, Aziz U. ÇALIŞKAN    Radar Antenleri – V: Faz Dizili Antenler – Besleme, Uygulama ve Gelişim Yönü

 plakası  doğrusal  polarizasyonlu  dalgayı  dairesel  sağlarken, yüksek geçiren durumunda da faz ilerlemesi   Teknolojileri Araştırma Labortuvarının (YİTAL) cihaz parkı;   jonksiyonuna kadar dereceli olarak  artırılması halinde baz
 polarizasyonlu dalgaya dönüştürür. Bu  dalga uygulanan   sağlar.   S bandında güç kuvvetlendiricisi gerçeklemek için  LDMOS   bölgesi içinde  yasak bandın enerji düzeyi  dereceli  olarak
 alanın doğrultusuna ve genliğine bağlı olan kendi içsel fazı   MEMS faz  kaydırıcılarda eleman başına  ışıyan güç   teknolojisini ve X bandında çalışabilecek MMIC üretimi için   düşmektedir.  Bu  durum baz  bölgesi içinde sözde bir
 ile ferrit yüklü bölge içerisinden ilerler. Çıkıştaki çeyrek   miktarı nispeten daha düşük olduğundan pasif  faz dizili   de 0,25 μm SiGeC BiCMOS teknolojisini geliştirecek biçimde   elektriksel alan oluşmasına neden  olmakta ve taşıyıcıların
 dalga plakası dairesel polarizasyonlu dalgayı tekrar doğrusal   antenler için bir  alternatif sunarlar.  MEMS faz  kaydırıcılar   güncellenmiştir. Aşağıda bu teknolojiler kısaca tanıtılacaktır:   hareketliliğini yükseltmektir.  Oluşan bu elekriksel alan 30-
 polarizasyonlu dalgaya çevirir. Karşılı bir aygıtta, karşılı   küçük boyutları, düşük ağırlıkları, düşük araya  girme   a)  LDMOS Teknolojisi   40 kV/cm mertebesindedir.  Bu  mertebede bir  elektriksel
 olmayan  bu etkilerin birleşimi sayesinde manyetizasyonun   kayıpları ve düşük güç tüketme gibi özellikleri nedeniyle   alan yaratmak için silisyuma atomca % 12 mertebesinde Ge
 doğrultusunun tersine çevrilmesine gerek duyulmaz.   yüzey etkin (space-based) dizi  anten uygulamalarında   Bu  teknolojiyle üretilen RF güç transistörleri;  yüksek   katkılanması gerekmektedir. Ge katkısıyla bipolar transis-
 Anahtarlama sürelerini küçültmek için enine manyetik   kullanılırlar.   gerilimde çalışma olanağı, kaynak kontağının doğrudan   törün baz bölgesindeki enerji bandının değişimi  Şekil 4’te
 (transverse magnetic) dört kutuplu alan ile kontrol  edilen   toprağa  bağlanması,  güvenilirliğinin  yüksek  ve  gösterilmiştir.
 değişken ferrit bölümlerinin yer aldığı alternatif tasarımlar   1990’lı yıllarda verici/alıcı birimleri için  tek parça   alternatiflerine göre (pHEMT, GaN) düşük maliyetli olması
 da mevcuttur.   mikrodalga tümdevre  (‘Monolithic Microwave Integrated   nedenleriyle cep telefonlarının baz istasyonlarında ağırlıklı
 Circuit’,  MMIC) faz  kaydırıcılar geliştirilmiştir.  Bu tip faz   olarak kullanılmaktadır. Benzer olarak, S bandı faz  dizili   Si
 Döner alan  ferrit faz kaydırıcılar karşılıdır. Bu  faz   radarların güç katında da LDMOS transistörleri kullanılmaya      e
                                                                                               -
 kaydırıcı yapısı, sırasıyla, dikdörtgen dalga kılavuzundan   kaydırıcılar küçük boyutlara, yüksek anahtarlama hızlarına,   başlamıştır.   -  SiGe
 düşük güç tüketim düzeylerine ve düşük maliyet
 dairesel  dalga  kılavuzuna  dönüştürücü,  doğrusal   özelliklerine sahip olup, bir verici/alıcı biriminin düşük güç   e
 polarizasyondan  dairesel  polarizasyona  dönüşüm   tarafında alçak geçiren süzgeçten sonra kullanılır.   Standart  MOS transistörlerden farklı olarak,  LDMOS
 gerçekleştiren bir kutuplayıcı (polariser), enine manyetize   yapısında transistörün etkin kanal genişliği fiziksel  kanal   E C
 edilmiş bir  ferrit parça, dairesel polarizasyondan doğrusal   4  SiGe VE LDMOS TEKNOLOJİLERİ   boyundan daha kısadır.  Bu özellik transistörün  kanal   E F
 polarizasyona dönüşüm gerçekleştiren bir başka kutuplayıcı   bölgesindeki katkı profilinin kaynak bölgesinden  savak   Enerji [eV]
 ve dairesel dalga kılavuzundan dikdörtgen dalga kılavuzuna   GaAs teknolojisi,  yüksek taşıyıcı hareketliliğine sahip   bölgesine doğru sert bir eğimde olması sağlanarak elde
 dönüştürücüden oluşmaktadır.  Merkezdeki ferrit dairesel   olduğundan  yüksek  frekans  uygulamalarında  sıkça   edilir. Böylelikle bu yapının daha yüksek frekansta çalışması   E V
 dalga kılavuzunun içerisini tamamen doldurur ve enine dört   kullanılmaktadır. Yüksek gerilime dayanma özelliği, düşük   sağlanmıştır. Transistörün yüksek gerilimde çalışma özelliği   n  p   n
 kutuplu bir alan ile sürülür. Bu alan çerçeve içerisine   ısıl direnci ve  ışınıma (radyasyona) karşı yüksek bağışıklığı   ise, kanal bölgesini takiben savak bölgesinin  az katkılı -
 yerleştirilen sinüs  ve kosinüs sarmalları ile üretilir. Her   bu teknolojinin askeri uygulamalarda da yaygın olarak   yüksek dirençli - olmasıyla elde edilir. Yüksek dirençli savak   (a)
 sarmal ferrit parça içerisinde enine  dört kutuplu manyetik   kullanılmasını  sağlamıştır.  Bununla  beraber,  GaAs  bölgesinin uzunluğu artırılarak  LDMOS transistörünün
 alan üretir. Sarmallar birbirine geçirilir. Öyle ki, iki sarmal   teknolojisinin  üretim  süreçlerindeki  düşük  verim  çalışma gerilimi yükseltilir. Savak bölgesindeki bu ek direnç,
 içerisindeki akımları ayarlamak suretiyle dört-kutup  alanın   problemine çözüm bulunamaması, bu teknoloji ile üretilen   transistörün akımının sınırlanması üzerinde negatif etki
 ana eksenleri herhangi bir  açıya döndürülebilir.  Faz   bileşenlerin  (komponentlerin)  maliyetlerinin  yüksek  oluşturmaz, fakat transistörün güç  verimini düşürmesi   %12 Ge
 kaymasının miktarı, manyetize edilmiş olan ferrit parçanın   olmasına neden olmaktadır. Faz dizili antenlerde çok sayıda   (Power Added Efficiency) açısından önem taşımaktadır.
 ana ekseninin etkin açısı ile orantılıdır.   verici/alıcı birimi kullanıldığından, bileşenlerin toplam   LDMOS’un çalışma gerilimi savak direnci yükseltilerek elde   Ge Yoğunluğu
 maliyete katkısı yüksektir.  Sadece maliyeti  düşürmek için   edildiğinden, transistörün belverme gerilimi çalışma
 3.3  Elektronik Faz Kaydırıcılar   değil,  GaAs  teknolojiyle gelinen noktada kalmayıp, daha   isterlerini ancak  karşılayacak değerde seçilmelidir.  LDMOS
 hafif ve hava soğutmalı anten tasarımının yapılabilmesi için   yapısı RF güç uygulamaları için ayrık bileşen olarak
 Genel olarak dört farklı elektronik faz kaydırıcı yapısı   de alternatif teknolojiler geliştirmek, günümüzde  üzerinde
 mevcuttur [12], [13]. Bunlar anahtarlamalı hat faz   çalışılan konulardandır.   kullanılmasına ek olarak  MMIC’lerde de kullanılmaktadır.   Emetör  Baz   Kollektör
          2010 yılı içinde 6 GHz  WLAN uygulamaları için 1 W çıkış
 kaydırıcılar, hat yansımalı faz kaydırıcılar, yüklemeli hat faz   güçünü  % 40 savak verimi ile sağlayan  LDMOS, SiGe
 kaydırıcılar ve yüksek ya da alçak geçiren faz kaydırıcılardır.   Yüksek frekans  uygulamalarında (cep telefonu,  WLAN   (b)
 gibi)  LDMOS (Laterally Diffused MOS) ve SiGe  HBT   BiCMOS süreci içinde gerçeklenmiştir [14].
 Faz yapısını elektronik olarak anahtarlayabilmek için bu   (Heterojunction Bipolar Transistor) BiCMOS teknolojileri geniş   b)  SiGe Teknolojisi   Şekil 4. SiGe karma jonksiyonlu bipolar transistörün a) enerji bant
 devreler içerisinde pin diyotlar, alan etkili transistörler (FET)   olarak kullanılmaktadır. Benzer olarak, faz dizili antenlerin   diyagramı, b) baz bölgesine yapılan Ge katkı profili.
 veya mikroelektromekanik anahtarlar  (MEMS) kullanılır.   verici/alıcı birimlerinde de silisyum  (Si) teknolojisinin   Bu  teknolojinin  getirdiği  temel  yenilik  bipolar
 Anahtarlamalı hat  faz kaydırıcılar  ve hat yansımalı faz   kullanılması gündemdedir.  Askeri uygulamalarda  Si   transistörün baz bölgesine  Germanyum (Ge) katkısıdır.
 kaydırıcılar, farklı  uzunluktaki iki iletim hattından birini   teknolojisinin kullanılmaya başlamasıyla, yakın gelecekte bu   Bipolar transistörün emetör bölgesinden baz bölgesine giren   Karma jonksiyonlu (heterojunction) bipolar transistörlerin
 seçmek için anahtarlar kullanırlar. Yüklemeli hat faz   sistemlerin hem fiyatlarının düşmesi hem de güvenilirliğinin   taşıyıcılar (npn yapısı için elektronlar) bu bölgede artık bir   baz bölgelerinin oluşturulmasında bölgesel epitaksiyel film
 kaydırıcılarda ise,  faz hızını artırmak için devre içerisinde   yükselmesi beklenmektedir.   azınlık taşıyıcısıdır ve kollektör bölgesine  ulaşıncaya kadar   depolama tekniği kullanılmaktadır.  Si pul yüzeyinde
 yer alan endüktörler, faz hızını azaltmak için de devre   difüzyonla hareket ederler.  Taşıyıcıların baz  bölgesinde   bölgesel  olarak  depolanan  SiGe  filmleri,  süreç
 içindeki kondansatörler  anahtarlanır. Bu yapıda reaktans   Enstitümüzde sistem veya cihaz tasarımına genel olarak   aldıkları mesafe ne kadar kısa ise ya da taşıyıcılar bu bölgede   tamamlandığında bipolar transistörlerin baz bölgelerini
 bileşenlerinin birbirlerini sıfırlamaması için çeyrek dalga hat   bileşen düzeyinden  başlanmaktadır. Kripto cihazları için   ne kadar hızlı hareket  ederlerse, transistör o kadar hızlı   oluşturmakta, böylece,  standart  CMOS sürecinin  yanında,
 kullanılır. Yüksek/alçak geçiren faz kaydırıcılarda, T devresi   milli algoritma içeren uygulamaya özgü tümdevrelerin   çalışacaktır.  Bipolar transistörlerin kesim frekansının   bipolar düzenler  için gerekli baz ve emetör bölgeleri
 içerisindeki uygun elemanlar seçilerek anahtarlar ya alçak   (‘Application-Specific IC’, ASIC) enstitümüzde üretilmesi gibi,   yükseltilmesi için, 1990’lı yılların başında  IBM firması,   eklenerek, aynı kırmık üzerinde hem NMOS ve PMOS hem
 geçiren devre  ya da yüksek geçiren devre durumuna   faz dizili antenlerde kullanılan MMIC’lerin de enstitümüzde   silisyuma Ge eklenmesiyle Si kristalinin enerji bant   de bipolar yapılar üretilebilmektedir. Si  kristaline  Ge
 getirilir.  Devre alçak geçiren durumunda  faz gecikmesi   gerçeklenmesi  planlanmıştır.  Bu  amaçla  DPT’nin  aralığının değiştirilebildiğini göstermiştir. Ge atomlarının   katkılanmasıyla  yasak bant aralığının değiştirilmesi ve
 desteklediği altyapı projeleri ile enstitümüzün Yarıiletken   yoğunluğunun emetör jonksiyonundan başlayarak kollektör   bipolar transistörün performansının yükselmesine ek olarak,


 114  Sayı 05   Ocak-Nisan 2011  http://www.bilgem.tubitak.gov.tr/  115
 ·
   112   113   114   115   116   117   118   119   120   121   122