Page 33 - bilgem-teknoloji-dergisi-11

Yarı İletken Teknolojileri Bu bir proje
tanıtımıdır.

ADACORSA

Esnek Sistem Mimarileri Üzerinde
Havadan Veri Toplama

liyor. İkinci model gerçek kusurları, hizalama ve de bahsi geçen, hesaplaması nispeten kolay olan
ışıklandırmadan kaynaklanan farklardan ayırı- OPC veya daha ileri düzey bir teknik olan ve çok TÜBİTAK BİLGEM, 12 farklı ülkeden 49 ku- Elektro-Optik ve multispektral (MSI / HSI)
yor. Geliştirilmekte olan bu yazılım, eşik taban- fazla hesaplama gücü isteyen ters litografi tek- ruluşu bir araya getiren HORİZON 2020 Çağ- kameralarla donatılmış insansız hava araç-
lı görüntü işleme yöntemlerine göre çok daha nolojisi (ILT) kullanılabilir. Bu teknikler aynı za- rısı kapsamında yer alan ADACORSA Proje- ları kullanımıyla ağaç türlerini belirlemek,
kararlı çalışıyor. manda optik sistemin odak derinliğini, odaklama si’nde ülkemizi temsil eden taraflardan biridir. yaşlı / ölü ağaçları tespit etmek, orman en-
hatalarına toleransını iyileştirmeyi hedefliyor. Şantiye içerisinde otonom çalışan in- vanteri ve kereste hacim tahmini yapmak
Mikron altı yapılar içeren maskelerin ise atomik Maske tabanı yani kuvars biraz aşındırılarak sansız inşaat araçlarının dron ile koordineli için uzaktan algılama, görüntü işleme analiz
kuvvet mikroskobu (AFM) veya taramalı elektron geçirgen bölgelerde faz farkları elde edilebilir. çalışmasını sağlamak için, içerisinde yapay
mikroskobu (SEM) ile görüntülenmesi gerekiyor. Faz kaymalı maske olarak bilinen bu tip maske- zekâ teknikleri ile çok-ajanlı yol planlama, teknikleri ve teknolojilerinin yardımıyla derin
ler, çözünürlüğü iki katına kadar iyileştirebiliyor. araç görev planlama ve zamanlama modül- öğrenme modelleri ve algoritmalarının ge-
Kusurların yeri ve tipi tespit edildikten sonra Aynı etki, eksen dışı aydınlatma (OAI) olarak lerini içeren bir algoritma tasarlanacaktır. liştirilmesi planlanmaktadır.
maskenin onarılması veya yeniden üretilmesi bilinen teknikle, optik sistemde maskeyi aydın-
gerekiyor. Maskenin ışık geçirmemesi gereken latan ışığın geçtiği göz bebeği denilen yapının
bölgesi ışık geçiriyorsa o bölgeye ışığı geçirme- şeklini değiştirerek elde edilebilir.
yecek bir yama-karbon kaplama gibi- yapılıyor.
Tam tersi durumda ise ışığı geçirmeyen kusur, Sistem çözünürlüğünün iyi olması kadar pul üze-
bölgesel olarak aşındırılıyor. rine çıkan yapıların boyut dağılımı da çok önemli-
dir. Çizgi kalınlık pürüzlülüğü (LWR) ve çizgi kenar
Maskeye daha küçük yapılar yazılabilse pürüzlülüğü (LER) kavramları burada önem ka-
litografi çözünürlüğü iyileşir mi? zanmakta ve üretim süreci için tasarım kuralları-
Maske tek başına litografi çözünürlüğünü be- nın belirlenmesinde rol oynamaktadır.
lirlemiyor. Maskeler, adımlayıcı veya tarayıcı bir
litografi sistemi ile birlikte kullanılıyor. Dolayısı
ile optik sistemin tamamı, yani litografi cihazı-
nın optiği ve maske, çözünürlüğü birlikte belir-
liyor. Maskedeki boyutlar çözünürlüğü sınırlıyor
ise daha küçük yapılar basılarak pul üzerindeki
görüntü iyileştirilebilir. Fakat adımlayıcı veya İnşaat alanı içinde otonom çalışan iş makineleri Ağaç çapı tespiti Alanların yükseklik haritalarının çıkarılması Drone taraması
tarayıcı sistemin optik özelliği (sayısal açıklık)
çözünürlüğü sınırlıyorsa, maske üzerine daha
küçük yapılar basmak, pul üzerindeki görüntü-
yü bozacaktır.

Maskenin optik sistemin bir parçası olduğu
gerçeğinden yola çıkarak çözünürlük iyileştir-
me tekniklerinden birazcık bahsedelim: Optik
sistemin mükemmel olmaması sebebi ile mas-
kedeki görüntü, pul üzerine aktarılırken bozu-
lacaktır. Eğer bir şekilde maske verisini bu bo-
zulmayı göz önünde tutarak değiştirirsek, pul
üzerinde hedeflediğimiz görüntüye daha yakın
sonuçlar elde edebiliriz. Bunun için, daha önce
Alan haritalandırma ve çalışma diyagramı

30